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合作品牌

Teledyne API SCI-552 臭氧发生器控制器介绍

发布日期:2022-12-27 09:40 浏览次数:

Teledyne API SCI-552 臭氧发生器控制器介绍

SCI-552 是臭氧输送系统的系统控制器,为许多典型系统组件提供电子控制接口,包括:臭氧发生器、EV 阀、质量流量控制器、背压控制器、Teledyne API 452 臭氧传感器、Teledyne API 470 溶解臭氧传感器和冷水机组。

SCI-552 具有硬件和软件支持多种系统联锁功能。SCI-552 为更终用户提供了灵活性,允许通过前面板用户界面、MODBUS 串行接口或各种离散的数字和模拟 I/O 点控制系统。SCI-552 设计用于支持两个臭氧发生器,提供两个独立的臭氧输出通道。

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特征

RS-232 MODBUS 远程支持

控制多达 2 个臭氧发生器

更多可连接 2 个 452 型和 470 型臭氧传感器

控制多达 4 个质量流量控制器

控制多达 2 个背压控制器

控制多达 2 个 EV 阀

控制冷水机组

系统联锁输入

远程系统级控制和状态 I/O

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应用

化学气相沉积(CVD)

原子层沉积(ALD)

氧化物生长

表面处理

灰化

粒子清洁

光刻胶去除

其他


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